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平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。平行平晶共分四個(gè)系列，每個(gè)系列各分六組，每組四塊。功能：平行平晶用于干涉法測量千分尺、卡規(guī)和千分表等測量面平面度、平面平行度。平行平晶 以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。平行平晶適用于計(jì)量檢測實(shí)驗(yàn)室、量具制造廠家、第三方計(jì)量校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)等部門使用；

備注：紅色方框中第6組為平行平晶常用規(guī)格，其他第1-5組需要定做；

2、測量準(zhǔn)確度：按JJG_28-2019標(biāo)準(zhǔn)；

1）測量面平行度偏差：

組1系列（0-25mm）允許誤差值：0.6μm 

組2系列（25-50mm）允許誤差值：0.6μm

組3系列（50-75mm）允許誤差值：0.8μm

組3系列（75-100mm）允許誤差值：1.0μm

2）每組平行平晶共4塊，分四個(gè)尺寸系列組，四組共計(jì)16塊；

3）測量面上平面度偏差：＜0.1μm

4）平面度局部偏差：大于0.03μm

5)  檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) （GB 903 無色光學(xué)玻璃）

6）平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫，等溫時(shí)間不少于8小時(shí)；